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光電直讀光譜儀所用氬氣的純度，必須滿足 GB/T 4842-2006《氬》中的高純氬等級，即氬氣純度必須≥99.999%。對氬氣中的雜質含量也有一定的要求。

對于氬氣純度這個問題，首先從光電直讀光譜儀的火花放電模式談起。在氬氣氛中的火花放電有:凝聚放電和擴散放電兩種放電模式。凝聚放電集中在樣品的較小面積上，其樣品原子蒸發較好。而擴散放電比較分散，其樣品原子蒸發較差。在間隙中，由于這兩種放電釋放出的能量相同，凝聚放電在陰極處的放電電流密度大，其激發斑點為黑色，而擴散放電的放電電流不集中，樣品容易與氬氣中的雜質氧或水分在分析面形成氧化層，其激發斑點為白色，導致兩種放電所得分析結果差別很大。因此，凝聚放電（黑色）是好的，擴散放電（白點）是不好的。高純氬作為火花室保護氣氛，其純度高，即雜質氧和水分低，會形成所需要的“凝聚放電”。否則，就會形成“擴散放電”。如果氬氣中氧氣或水分雜質含量過高，上述元素很容易與雜質氧發生反應，生成氧化物而影響測定結果。

另外，前面也說到特征譜線在紫外區，碳、氮、硫、磷元素由于其光譜被雜質氧吸收，也會影響測定結果。在樣品分析過程中，由于鋁、硅、鉻、鉬、鈦和釩等元素對氧的親和力比較高，易產生白斑等。一般來說，在相同氧濃度的氬氣氣氛中，對于銅、鎳、金和銀等元素，它們在自然界比較穩定，與氧的親和力差，其基體樣品不易在表面形成氧化膜，易產生凝聚放電，且每次放電時侵蝕的金屬量較大。氬氣中雜質氣體應該滿足氧允許量（體積分數）不大于5×10^-6、氮允許量 （體積分數）不大于20 x10^-6、水分允許量（體積分數）不大于5×10^-6、其他雜質總量 （體積分數）不大于5 x10^-6。鋁、鎂、鋅、鐵和鉻等元素，與氧的親和力較大，如果在氬氣氣氛中雜質氧濃度高，在放電時其表面易形成氧化膜，形成擴散放電。

因此，為了保證“凝聚放電”，杜絕“擴散放電”，氬氣純度要高。氬氣中部分雜質氣體限量，還應該符合：氧允許量 （體積分數）不大于2x10^-6、水分允許量（體積分數）不大于2×10^-6。